压阻式压力传感器.doc

1、 一实验目的了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。二 实验原理 自 动 检 测 与 控 制 实 验 报 告实验名称：扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验三 主要仪器、试剂及装置图仪器：压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V、装置图： 实验原理图6.1四实验步骤和实验现象五实验结果及数据处理 （张贴原始记录卡）表6.1P(KP)0.010.0150.0200.0250.030.0350.040.0450.05Uo2（mv）10.214.518.420.925.727.832.535.936.8P(KP)0.0550.060.0650.070.0750.080.085

2、0.090.095Uo2（mv）41.244.547.250.352.354.857.059.862.4表6.2P(KP)0.010.0150.020.0250.030.0350.040.0450.05Uo2（mv）56.954.251.648.545.843.242.537.634.7P(KP)0.0550.060.0650.070.0750.080.0850.090.095Uo2（mv）30.527.223.620.115.711.27.02.00表6.3P(KP)0.0950.090.0850.080.0750.070.0650.060.055Uo2（mv）-6.6-10.7-14.3-

3、17.7-20.9-23.7-26.3-29.0-31.5P(KP)0.050.0450.040.0350.030.0250.020.0150.01Uo2（mv）-34.1-36.2-38.6-40.8-42.9-45.1-47.3-49.4-51.0表6.4P(KP)0.0950.090.0850.080.0750.070.0650.060.055Uo2（mv）-51.8-49.6-47.2-44.9-42.8-40.2-38.0-35.6-32.8P(KP)0.050.0450.040.0350.030.0250.020.0150.01Uo2（mv）-30.4-27.9-24.7-22.3-18.7-15.8-12.3-8.5-0.4六 实验讨论1、实验过程中数据较多，和同组人应密切配合。一人进行实验操作，一人进行实验数据的记录。2、 实验数据U与P与线性变化有一点出入，但总体还是呈线性变化。3、实验完成后整理好实验仪器，记得关上电脑。考核内容评分ABCD预习情况实验情况实验报告完整性规范性正确性总分教师（签名）