浅谈LED制造工艺流程及细节.doc
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1、浅谈LED制造工艺流程及细节作者: 深圳市新亚电子制程股份有限公司李毅责任编辑: 发布日期: 2007年09月28日 随着20世纪90年代,人类对氮化物LED的发明、LED的效率有了非常快的发展。随着相关技术的发展,在不久的未来LED会代替现有的照明灯泡。近几年人们制造LED芯片过程中首先在衬底上制作氮化镓(GaN)基的外延片,外延片所需的材料源(碳化硅SiC)和各种高纯的气体如氢气H2或氩气Ar等惰性气体作为载体之后,按照工艺的要求就可以逐步把外延片做好。接下来是对LED-PN结的两个电极进行加工,并对LED毛片进行减薄,划片。然后对毛片进行测试和分选,就可以得到所需的LED芯片。由于制作L
2、ED芯片设备的造价都比较昂贵,同时也是生产的一个投资重点,具体的工艺做法,不作详细的说明。下面简单介绍一下LED生产流程图,如下: LED生产流程图 (流程工艺) (使用设备) 测试芯片 芯片分选机 排支架 ( 把芯片固定在支架座)芯片扩张机 点 胶 点胶机 显微镜 QC 固 晶 倒膜机 扩晶机 显微镜 固晶座 QC (*白光 ) 固晶烘烤 烘箱 150C2H 配荧光粉 焊 线 (芯片焊两个电极) 自动焊线机 超声波焊线机 点荧光粉 *二焊加固锒胶 点胶机 显微镜 (QC白光) 烘烤150C1H - *锒胶烘烤 烘箱 电子称 抽真空机 点胶机 显微镜 *支架沾胶 ( 支架沾胶)点胶机 烤箱 1
3、20C20min (下面说明植入工艺) 植入支架 - 灌胶机 - 自动灌胶机短 烤 - 烘 箱离 模 - 脱模机 长 烤 烘箱 130C6H 切 一切模具(冲床) 测试点数 LED电脑测试机 QC 全切 冲压机及全切模 QC 分光分色 LED分选机 QC 封口包装 封口机入库 一、工艺说明(植入支架) LED外型环氧树脂封装主要有以下几步:模条预热-吹尘-树脂预热-配胶-搅拌-抽真空-灌胶入支架。 所用物料:支架、LED芯片、锒胶绝缘胶(解冻,搅拌)、晶片(倒膜,扩晶)、金线、锒胶、荧光粉、胶带包装、模条(铝条,合金)、导热硅脂、焊接材料、树脂(AB胶或有机硅胶)、各种手动工具、各种测试材料(
4、如万用表、示波器、电源等)。 二、LED封装技术 LED芯片只是一块很小的固体,它的两个电极要在显微镜下才能看见,加入电流后它才会发光,在制作工艺上除了要对LED芯片的两个电极进行焊接。从而引出正负电极之外。同时还要对LED芯片和两个电极进行保护,因此这就需要对LED芯片封装。 如:常见直径5mm的圆柱型引脚式封装LED. 这种技术就是将LED芯片粘结在引线架上(一般称为支架)。芯片的正极用金丝键合连到另一引线架上,负极用银浆粘结在支架反射杯内或用金丝和反射杯引脚相连,然后顶部用环氧树脂包封。做成直径为5mm的圆形外形。 这种封装技术的作用是保护芯片,焊线金丝不受外界侵蚀。固化后的环氧树脂,可
5、以形成不同形状而起到透镜的功能。选用透明的环氧树脂作为过渡。可以提高芯片的出光效率。环氧树脂构成的管壳具有很好的耐湿性,绝缘性和高机械强度,对芯片发出的光的折射率和透光率都很高。但对于大功率LED而言,在通电后会产生较大的热量。并且如果用于封装的环氧和金丝的膨胀系数不一样,那么膨胀时就会使金丝拉断或造成焊点接触电阻较大,从而影响了发光器件的质量。特别应注意的是,封装胶会因温度过高而出现胶体变黄,因此降低了透光度并影响光的输出。 所以我们更应该考虑到LED的长久使用效果。从而应该用有机硅胶材料来封装。如:MOMENTIVE中的XE14B3445, XE14B5778 型硅胶就有良好的透光率。不会
6、随时间而恶化,热膨胀系数非常好,在紫外线照射下稳定性很理想。 这里要注意的问题是,LED使用散热问题。目前散热也是选用铝或铜为散热器,但要特别注意热沉与散热器之间的粘接材料一般应采用导热胶。如果是两个物体的表面接触。中间会有空气,而且空气的导热系数很差。所以在界面之间应有一层导热胶来让它们紧密接触。这样导热效果才会好。如GE的TSE-3081或MOMENTIVE品牌中的硅脂等都有很好的散热紧密连接的作用.三、案例说明1、在LED引脚式封装白光过程中,因为器件的体积较小,点荧光粉是一个难题。有的厂家先把荧光粉与环氧树脂配好,做成一个模子,然后把配好荧光粉的环氧树脂做成一个胶饼,将胶饼贴在芯片上,
7、周围再灌满环氧树脂。但是要注意的是点荧光粉胶时在周围有气泡,而在抽真空时,没有把气泡处理干净。结果在焊接时。将热量传给芯片,使芯片周围的气膨胀,从而把荧光粉胶涨裂;或A、B、胶没有充分混合胶调配不均。因此,使荧光粉胶自己开裂。从而使很多厂家在制造LED白光过程中,大都利用自动化机器进行固晶和焊接线,所做出来的产品质量好,一致性好,非常适合大规模生产。 2、大功率LED封装过程中,由于点亮时发热量比较大,可以在LED芯片上盖一层硅凝胶,而不可用环氧树脂。这样做一方面可防止金丝热胀冷缩与环氧树脂不一致而被拉断。另一方面防止因温度高而使环氧树脂变黄变污。环氧树脂在紫外光照射下易分解老化,结果透光性能
8、不好,所以在制作功率LED白光(绿+红+蓝=白光)应用硅凝胶调和荧光粉,而LED芯片底层用硅胶导热,从而大大提高使用寿命。 3、提高白光LED光效作法。目前对蓝光(或紫外光)片芯涂覆荧光粉制作白光LED,这要从材料上,工艺方面进行深入研究,我们提出使用硅胶拌荧光粉涂覆在蓝光芯片上,虽然开始会出现光衰,但是随着点亮时间的延长,又会慢慢提升光通量。从而达到延长使用寿命的目的,另一方面就是人们常说的三基色LED。这是让芯片直接点亮。(不用荧光粉)混合成白光。例如使用红、绿、蓝三种芯片组合成白光(三基色)。 四、LED的生产环境 制作LED的生产环境要有一万级到十万级的净化车间,并且温度和湿度都可调控
9、的。LED的生产环境中要有防静电措施,车间内的地板、墙壁、桌、椅等都要有防静电功能,特别是操作人员要穿上防静电服并戴上防静电手套。 为了尽量降低静电效应给器件带来的破坏和影响,对生产LED的洁净车间、整机装配调试车间、精密电子仪器生产车间都有严格的环境要求:(1)地面、墙壁、工作台带静电情况:光刻车间塑料板地面的静电电位约为500 1000V扩散间的塑料墙地面为700V,塑料顶棚为0 1000V。 (2)工作台面为500 2000V,最高可达5KV。 (3)风口、扩散间铝孔板的送风口为500 700V。 (4)人和服装可为30KV,非接地操作人员一般可带3 5KV,高时可达10KV。 (5)喷
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